激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。
| 類 | 混合器組成/（10-2） | 用途 | |||||||||||||
| H2 | Ne | Ar | N2 | CO2 | Kr | F | Xe | CO | HCI | 平衡氣 | |||||
| 氦氖激光混合氣 | 2-8.3 | 用于工業(yè)生產(chǎn)，科學研究和國防建設等領(lǐng)域 | |||||||||||||
| CO2激光混合氣 | 0.4 |
13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-12 |
4.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 |
2.0 4.0 2.0 4.0 |
主要用于激光加工，如金屬、陶瓷的切割、焊接與鉆孔以及醫(yī)療上的激光外科等 | ||||||||||
| 氪氟激光混合氣 | 5.0 | 10.01-0.2 | 用于保護膜導光以及化學反應等領(lǐng)域。貯存器制造中的石板印刷已開始使用氟化氪激光 | ||||||||||||
| 密封束激光氣 | 18.5 | 3 | 2.5 | 作研究用的密封束激光氣 | |||||||||||
| 準分子激光氣 | 25.8 | 9.8 | 0.004 | 15.02 | 5.0 |
Ar He He Ar |
準分子激光器用于醫(yī)療上的外科手術(shù) | ||||||||
密閉操作，局部排風，儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。避免光照。庫溫不宜超過30℃。工作人員必須經(jīng)過專門培訓，嚴格遵守操作規(guī)程。使用防爆型的通風系統(tǒng)和設備。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。應與酸類、堿類、醇類、食用化學品分開存放，切忌混儲。采用防爆型照明、通風設施。禁止使用易產(chǎn)生火花的機械設備和工具。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。應嚴格執(zhí)行極毒物品“五雙”管理制度。在傳送過程中，鋼瓶和容器必須接地和跨接，防止產(chǎn)生靜電。禁止撞擊和震蕩。配備相應品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應急處理設備。
